【概要描述】光纤MEMS传感技术是建立在21世纪微米/纳米制造技术基础上的前沿技术，它将MEMS微纳米加工技术与光纤信号检测的技术相结合，将光纤传感器的微型化、多功能化、智能化和可靠性水平提高到了新高度。包括MEMS光敏敢芯片和光纤信号检测单元两个组成部分。

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• 发布时间：2019-01-08 10:33
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