光纤MEMS传感技术原理

发布时间：

2019-01-08 10:33

光纤MEMS传感技术是建立在21世纪微米/纳米制造技术基础上的前沿技术，它将MEMS微纳米加工技术与光纤信号检测的技术相结合，将光纤传感器的微型化、多功能化、智能化和可靠性水平提高到了新高度。包括MEMS光敏敢芯片和光纤信号检测单元两个组成部分。